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アイテム
フラッシュメモリ製造における反応性イオンエッチング装置部材に関する研究
https://shibaura.repo.nii.ac.jp/records/204
https://shibaura.repo.nii.ac.jp/records/204abfdeee0-5fbc-4add-9574-2a04cd45fbab
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
博士論文_甲第315号 (7.6 MB)
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要旨_甲第315号 (281.3 kB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2022-10-24 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | フラッシュメモリ製造における反応性イオンエッチング装置部材に関する研究 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||
| 著者 |
松本 , 哲之
× 松本 , 哲之 |
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| 学位名 | ||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
| 学位授与機関識別子 | 32619 | |||||
| 学位授与機関名 | 芝浦工業大学 | |||||
| 学位授与年度 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 2021年度 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2022-03-17 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 甲第315号 | |||||
