@phdthesis{oai:shibaura.repo.nii.ac.jp:00000204,
 author = {松本 , 哲之},
 month = {2022-10-24, 2023-05-29},
 note = {2021年度},
 school = {芝浦工業大学},
 title = {フラッシュメモリ製造における反応性イオンエッチング装置部材に関する研究},
 year = {},
 yomi = {マツモト, テツユキ}
}