@phdthesis{oai:shibaura.repo.nii.ac.jp:00000086, author = {杉本 , 一弘}, month = {2017-12-08}, note = {2016年度}, school = {芝浦工業大学}, title = {プラズマ生成装置の高周波インバータ、および高周波整合器に関する研究}, year = {}, yomi = {スギモト, ガズヒロ} }